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DCM-40错位测量显微镜

文章来源:handler 时间:2020-03-07 01-41-23

DCM-40/60是一款设计独特的显微镜,可分别或同时观察物体的表面和底面图像,并对两图像进行比较,还可以通过测量装置测量两图像(表面和底面)的偏差。用途:直接测量AB两个面的错位尺寸


可选的物镜有五种,放大倍率从50X~100X。测量精度可达1μm。

 

DCM-40/60主要应用于微电子行业,特别是在半导体行业。产品上下面尺寸有偏移时就可以直接对比测量,减少其它间接测量方式的误差且不会损坏产品。例如:晶圆划片基准印字偏移,柔性线路板线路间距,陶瓷电容片切割对位和IC框架边缘质量等应用。

 

 

规格:

型号

DCM-40

DCM-60

物镜

5X, 10X, 20X ,40X, 100X

5X, 10X, 20X ,40X, 100X

工作台

50X50mm 100X100mm

150X150mm

光源

150W卤素灯2套

150W卤素灯2套

工件厚度

20mm

30mm

选配件

照相系统、TV系统

 

测量步骤:

1.将"光路选择开关"旋转到"Top& Bottom"位置,调整上、下物体的光轴至重合。

2.将工件置于工作台上。旋转"光路选择开关"到"Top" 位置,对焦上表面. .

3.旋转“光路选择开关"到"Bottom” 位置, 对焦下表面。.

4.将“光路选择开关"旋转到"Top &Bottom"位置,测量两图像的位置偏差。

 


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